在芯片制造工艺中,微米级尘埃即可导致晶圆良率骤降,而无油螺杆空压机通过三重技术屏障构建了洁净空气供给体系。其核心优势在于干式压缩腔设计,采用磁悬浮轴承与特殊涂层转子,彻底消除润滑油污染风险,配合多级过滤系统实现空气洁净度达ISO 8573-1 Class 0标准。这种技术突破使芯片生产环境中的油分含量低于0.001mg/m³,满足5nm制程对空气质量的严苛要求。 一、技术原理:从源头杜绝油污染 无油螺杆空压机的核心创新在于压缩腔的物理隔离设计。转子表面采用聚四氟乙烯复合涂层,通过高精度数控加工实现微米级啮合间隙,